超细粉体的制备方法有很多，但从制备的原理上分主要有两种：一种是化学合成法，一种是物理粉碎法。化学合成法是通过化学反应或物相转换，有离子、原子、分子经过晶核形成和晶体长大而制备得到粉末，由于生产工艺复杂、成本高、而产量却不高，所以化学合成法在制备超细粉体方面应用不广。
物理粉碎法是通过机械力的作用，使物料粉碎。物理粉碎法相对于化学合成法，成本较低，工艺相对简单，产量大。因此，目前制备超细粉体材料的主要方法为物料粉碎法。常用的超细粉碎设备有行星式球磨机、振动磨机、搅拌磨机以及机械冲击粉碎机等等。
超细粉碎已并非是一个简单的粗粒变细粒的过程，而是一个粉碎与团聚的复杂过程。一方面，机械作用导致物料颗粒的粒度减小，比表面积增大；另一方面，机械作用也导致物料颗粒的聚结，从而增大表观粒度，减小比表面积。因此，如果从粒度或表面积来考察，可以认为超细粉碎的过程是一个粉碎——团聚的可逆过程，当这种正反两个过程的速度相等时，便达到粉碎平衡，颗粒尺寸达到极限值。进一步延长粉碎时间时，由于这时机械力已不足以抗衡物料进一步粉碎所需的更高的断裂强度，因此只能维持粉碎平衡，并可能导致小颗粒重聚，于是团聚现象加剧，即所谓“逆粉碎”现象出现。
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